三氯氢硅精馏中如何最大限度的除硼，请发表意见

各位楼主可否就具体细节再深入一些

10楼的朋友可以说具体些吗？
那该怎样去控制呢？我想这个水汽量应该很少很少的，

水蒸气量的确是很少，取决于杂质含量的多少，因为氯化硼和氯化磷更容易与水反应，并且少量三氯氢硅可以与水反应生成硅胶，进一步吸附这些杂志，因此这种可以采用这样的方法来除磷硼，具体的过程我也不怎么了解，只知道原理是这样的，至于要怎么实现控制，我想这个就属于各企业的机密了.......