三氯氢硅精馏中如何最大限度的除硼，请发表意见

发表于 2009-6-11 07:58:43

在三氯氢硅精馏中，精馏塔就两个，如何能最大限度的出去硼呢，精馏塔就两级。

发表于 2009-6-14 22:51:05

三氯氢硅中除硼问题
目前多晶硅厂家对三氯氢硅厂家中的硼含量控制很严，大部分厂家都要求在50-100PPb级别，但是三氯氢硅厂家基本都是一个精馏塔，新上的也只是增加了一个除轻杂质的精馏塔，可是目前来看效果也不是很理想。含硼至少在400ppm，这个除硼磷的过程主要应该是在精馏过程中，用氮气加湿器，主要是在精馏塔中水汽和三氯氢硅经过一系列的反应生成络合物，络合物沸点高，从而使之在精馏塔中得到有效的分离~~~
具体反应是：BCL3+H2O=HOBCL2+HCL
                        SIHCL3+H2O=HOSICL3+H2
                        HOBCL2+HOSICL=CL2B-OSICL3+H2O                      失水
                        SIHCL3+3H2O=SIO2-H2O+H2+3HCL
生成的二氧化硅是极为微细的粉末状固体颗粒，吸附硼磷化合物成络合物。

发表于 2009-6-16 21:20:16

二楼的朋友能够介绍的更详细点吗？能帮忙gstw95@sohu.com最好

发表于 2009-6-17 08:34:58

在精馏工序的工艺设计中就应专门设计除去低沸点物质的工艺

发表于 2009-6-19 16:39:34

二楼的朋友。如果在精馏塔中加入水汽，那么三氯氢硅就会水解成二氧化硅，大家都知道二氧化硅喂超细物，如果二氧化硅在精馏塔中架桥怎么办？还有就是水先就会和三氯氢硅反应，那么怎么能达到除硼的效果？

发表于 2009-6-20 16:43:35

二楼的朋友能够详细介绍一下吗？
谢谢了

发表于 2009-6-21 20:46:24

树脂可以吸附

发表于 2009-6-24 00:17:13

二楼的朋友，可以详细的说一下吗？
请问是设想还是已经开始在用？

发表于 2009-6-24 00:48:45

除轻组份主要在第一个塔
控制好冷凝液的出口的温度

发表于 2009-6-24 08:52:29

二楼的朋友。如果在精馏塔中加入水汽，那么三氯氢硅就会水解成二氧化硅，大家都知道二氧化硅喂超细物，如果二氧化硅在精馏塔中架桥怎么办？还有就是水先就会和三氯氢硅反应，那么怎么能达到除硼的效果？
wqing123456 发表于 2009-6-19 16:39

登录/注册后可看大图
水会先和氯化硼以及氯化磷反应，这两种组分的水解比三氯氢硅优先发生

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册