多晶硅长成泡沫状原因

发表于 2009-4-13 11:28:51

颜色发黑是温度低了
泡沫状结晶速度太快

发表于 2009-4-13 21:40:52

1。跟生长速度有关，生长太快
2。与原料有关，可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅
3。与硅芯有关，可能出现了PN结
4。与电流有关，可能电流过大
请自查

发表于 2009-4-21 00:20:40

菜花见过，没见过须须状的

发表于 2009-4-24 17:33:53

1。跟生长速度有关，生长太快
2。与原料有关，可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅
3。与硅芯有关，可能出现了PN结
4。与电流有关，可能电流过大
5.进气不均匀

发表于 2009-5-15 11:14:01

晶体生长如果有杂质的情况下，会给晶体提供晶核，晶体就生长很快。
晶体生长很快，就会导致晶体有空隙，继续导致后面的晶体生长很快。
生长过快的晶体，往往会夹杂这杂质。

发表于 2009-5-15 13:56:00

可能生长太快；可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅；可能出现了PN结；可能电流过大

发表于 2009-5-15 17:35:15

可能是进气不均匀

发表于 2009-5-19 15:07:13

1进气量不均匀
2生长过快（温度设定点过高、电流增长过快per hour）
如果只是朝外方向有的话，那是冷却介质温度过低了，外圈应该很厉害

发表于 2009-5-20 16:34:12

感觉是进料速度大，且量控制不均匀，变化过大。造成温度也无法控制好。

发表于 2009-5-25 20:31:59

关键是没有控制好温度，特别是横梁的温度。温度高，产生的多晶硅晶粒就比较大，沉积于硅棒上后形成的晶核就比较大，也就是我们说的“菜花状”。

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