多晶硅长成泡沫状原因

发表于 2009-4-7 21:25:54

我们车间炉子里的多晶都长成泡沫状了，很虚很虚的那种，这种产品肯定没人要的。是进气量大还是温度低，请各位大侠讨论一下看是什么原因！！

发表于 2009-4-8 01:15:41

是棒的上部还是棒的整体
时后期出现的还是········
你说的泡沫是不可以理解为玉米状的凸起呀
还有就是什么颜色的是正常的颜色还是发黑呀
?????????????????

发表于 2009-4-8 09:08:38

你说的泡沫状是不是大家经常说的玉米状、菜花状？
菜花状通常是生长速度过快引起的
论坛已经有了
多晶硅生产中的问题:菜花状/倒棒
https://bbs.hcbbs.com/thread-236910-1-1.html

发表于 2009-4-8 16:56:55

如果非常严重,可能是碳粉进入还原炉了
也就是回收氢气带入的,清洗更换一下过滤器看看

发表于 2009-4-8 21:30:53

是棒的整体，就跟菜花一样，有很多的黑点
这跟回收氢真的有关系吗！！

发表于 2009-4-11 12:20:06

你们应该是加压生产吧？
沉积速度过快且不均匀了。
控制下进气速度和氢气与三氯氢硅的配比

发表于 2009-4-11 15:03:06

更警惕的生长速度有关巴

发表于 2009-4-11 20:05:02

很虚很虚的泡沫？没见过。如无污染，可查挥发器温度，压力是否正确，如无误，可稍作调整

发表于 2009-4-11 21:31:38

这个我知道啊，我这边刚投产时也是这样的，是由于温度每控制好，导致反应不是还原，而是热分解，产生了硅粉，黑点久是硅粉，而且硅粉还会随着尾气出来。

发表于 2009-4-13 07:50:55

配比太小了
温度也要控制好
配比调大呀
喷料了吗？

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