三氯氢硅合成氯气要求

对氯气纯度不低于96%（体积）、液氯99.5%以上；水份在0.03%以下，氢气在0.4%以下。

你做好还是用液氯生产，含水低是好处，如果直接用氯气生产也能生产，不过以后会造成三氯硅烷的产品质量问题，也就是说会有杂质含量超标的问题在里面。