三氯氢硅合成工艺的工艺技术？

大家谁对三氯氢硅合成工艺比较了解，尤其是对硅粉加料了解比较多？
[ 本帖最后由 bingyu252 于 2009-1-13 15:01 编辑 ]

三氯氢硅合成装置为筒形结构，上部筒体直径扩大部分是气固分离段，该段设有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，加热器上方设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上开有氯化氢进气口，下封头还开有排渣口，其筒体的反应段底部的氯化氢进气口上方设置气体分布板，气体分布板上分布有气孔，筒体内置有内换热套管，内换热套管与筒体外的热媒进管和热媒出管连通。

三氯氢硅情况简介
一、概况：
1、本品又称三氯硅烷或硅氯仿，分子式为SiHCl3，[wiki]沸点[/wiki]31.8℃，常温时为无色或微黄色的透明可燃液体，易挥发，易水解，易溶于醇、醚、卤化烃，为有机溶剂。
2、本品提纯后主要用生产半导体级[wiki]多晶硅[/wiki]和硅外延片等信息产业基础材料。但因带有氢键和含氯较多，常与其他有机官能团生成一系列的有机硅产品（如氯丙基三氯硅烷，乙烯基氯硅烷辛基氯硅烷等）。
3、由三氯氢硅生产的硅烷偶联剂具有硅化合物耐温，疏水，绝缘等特性，并能将无机分子和有机分子更好搭接，已在橡胶、塑料、[wiki]涂料[/wiki]、纺织等行业，发挥了良好作用，目前国内年生产总量已近万吨，平均年增长在15[wiki]%[/wiki]以上。
4、近年我国多晶硅年需量已近千吨，而自产还不到百吨，大量进口，故对三氯氢硅需求有很大发展空间。
5、由于半导体用硅的需求，我国在六十年代已掌握了三氯氢硅生产技术，生产出纯度很高的产品。近些年，硅烷偶联剂发展，工业用三氯氢硅的生产工艺也日渐完善，技术经济指标也大有提高，目前国内生产总能力已近年万吨。
二、生产规模及工艺。
1、生产1吨三氯氢硅将联产四氯化硅约0.3吨，目前四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。
2、从成熟、实用，仍以国内外普通使用的工业纯硅在氯化氢气流下流态氯化，再精溜提纯的工艺路线。

市场比较好的，就是投资比较大

三氯氢硅的投资应该讲投资是不大的，这也是近2年上的多得原因

目前加硅粉有几种方法，用气体送硅粉如N2或HCL还有机械进料方法，不知朋友想知道什么方法？

硅粉加料前是一定要经过干燥的吧。我觉得还是用氮气吹进去比较好吧。楼上说的HCl也是工业上用的吗？另外往合成炉内加硅粉是连续的还是间歇的啊？这点我一直没搞清楚！

我知道的大部分是间隙加料，不过我认为连续匀速加料会更好，反应温度波动不大，对控制粗品的浓度有好处，干燥是必须的。

7# yuanloveki
如果有CDI工序就不能用N2，因为CDI不能吸收N2

我们也是间歇式加料，用氮气吹的