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多晶硅倒炉原因大总结

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发表于 2011-10-20 21:23:16 | 显示全部楼层
有没有注意尾气中的DCS的含量 尾气中的DCS也不完全是不好的  他对硅棒的生长是有好处的
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发表于 2011-10-23 19:48:38 | 显示全部楼层
一般情况下就一点 过程控制问题 和料量电流有很大关系 自己摸索看吧!!!
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发表于 2011-10-26 00:15:46 | 显示全部楼层
现在多晶硅倒棒很少与石墨电极有关。石墨影响倒棒不外呼有如下情况:1、石墨电极材料问题,2、石墨电极加工的精度问题。但以上情况对于专业的石墨加工企业来说,一般都会很注意的,所以说发生的机率很小。
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发表于 2011-11-11 11:20:12 | 显示全部楼层
氢气的热容大于氮气的,也就是氢气带走热量的能力比氮气大,硅芯表面温差大容易变脆,击穿过程中在石墨根部出现裂纹,相对来说裂纹的地方硅芯放热量大,容易融化发软,倒炉。。。个人观点仅供参考。。
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发表于 2011-12-24 17:28:35 | 显示全部楼层
楼上的错, 氢气的比热容比氮气小
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发表于 2012-1-4 13:52:41 | 显示全部楼层
建议弄成PDF格式文件  供下载
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