多晶硅的氮化和氧化是怎么一回事？

发表于 2009-10-26 01:42:49

400--700度才会产生氮化硅（停炉时）。正常生产时确实不太容易长出氮化硅。

发表于 2009-10-28 11:23:31

氮气是很稳定的，一般是不和硅反应的，但是在高温下是要反应得，他有在低温（650）下的氮化，有高温下（900度也上）的氮化，氮化后的产物是很硬的，只有HF才能和他反应，所以我们要尽量减少氮气置换的时间，升温进料。

发表于 2009-10-28 11:56:55

那位大侠能全面点的说明发生氮化的条件？

发表于 2009-10-28 12:02:32

我听别人说是在1400以上才能发生氮化的，不知道是不是真的

发表于 2009-10-29 10:29:04

我们单位目前产的多晶硅硅芯和硅棒接触的那个面有时候就会出现彩色，有蓝的，紫的，绿的，不知道是怎么回事，是上面各位说的氧化淡化吗！？小生今天晚上回来发个帖大家给看看，付上图片

发表于 2010-1-1 10:31:04

彩色的应该是氧化夹层吧，估计氢气质量不行。呵呵

发表于 2010-1-6 13:54:02

我想问一下那个三氯氢硅和四氯化硅在常温下的汽化焓

发表于 2010-1-8 15:57:11

很收获，多发贴，真不错

发表于 2010-1-8 17:54:11

有没有好的办法改善氢气品质！？

发表于 2010-1-14 12:50:40

无论是过程氮化还是，开停炉氮化，都是对多晶硅质量的毁灭性打击啊

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