大型多晶硅还原炉的技术难点在哪里

我觉得气体分布的均匀性以及温度均匀性是关键

原帖由 冬天的雪 于 2008-12-30 09:35 发表
                                
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单从还原炉自身来讲，1.炉壁的冷却问题！2.炉体的材质问题！3.进气物料的配比问题！4.压力问题
因为生产都是一个系统工程，决定硅棒生长的是电控柜，大型的还原炉的成产能力和消耗成本都将大幅增加，电的消耗，最重 ...
进料方位及进料是否均匀。

还有就是单相中硅芯的串联对数也增加了，断电的可能性也增加了许多，因为串联中的任何一根硅芯出了问题，整个串联系统都将出问题。

还原炉的大小应该是根据不同的产量以多少对棒来说的！
有9对棒的，12对的，18对的，36对的都有，看设计年产量来决定！
我想请问各位同志所说的大型还原炉，这里的“大型”到底是多大！？

首先是还原炉自身的加工，大的还原炉加工技术要求高得多，特别是底盘，其次是进料，大的还原炉进料气场布局不一样，保证气流分布是要点，其次是电器

投入使用后会出现很多想不到的问题，供气方式，电器控制，热场，还容易倒棒，需要有个磨合期，逐步改进。但是可以确认一点就是相比小型还原炉，大还原炉的电耗会降下来，效率提高。

大型还原炉关键在于电器方面的设计，如电器方面设计不好，很容易造成硅棒倾倒，再就是进料方面的控制，都是很关键的。

选材重要，做好冷却系统也很重要，但我认为最重要的是底盘的设计，设计好了，插硅芯就不容易倒，进出气口设计好了，能够使硅棒生长均匀！

大型还原炉对电气方面要求很高，还有冷却系统，硅棒长的很粗，产生的热量就多，冷却压力就高，又对水泵要求高，等等，都增加了投资成本。还有现在的小型炉技术很成熟有成功的案例，大型炉子还没有开始，技术还没不成熟，所以没人用