大型多晶硅还原炉的技术难点在哪里

问，大型多晶硅还原炉与小型还原炉相比，技术难点在哪里？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-19 15:15 编辑 ]

对多晶硅工艺不熟悉,不过个人认为一般大反应器的难点都在于加热或撤热方面

我的理解是在控制和操作部分：随着硅棒的长大，保持表面恒温的措施；还有高温下正在长大的硅棒可能受气流的影响而倾倒；节能措施（以便降低成本）；尾气回收（环保）分离再循环（降低成本）措施等。不知是否正确。

单从还原炉自身来讲，1.炉壁的冷却问题！2.炉体的材质问题！3.进气物料的配比问题！4.压力问题
因为生产都是一个系统工程，决定硅棒生长的是电控柜，大型的还原炉的成产能力和消耗成本都将大幅增加，电的消耗，最重要的是尾气处理问题的解决！有时炉子的大小不单只是在技术上的问题，还会充分考虑系统的配套能否在现有技术上跟得上！

3楼、4楼说的比较全面啦。
应该还有混合气在还原炉中的分布吧，毕竟还原炉大了，气体可能分布不均。
还有就是还原电器和硅芯了。

本人觉得最大的难点在于物料的循环回收利用。多晶硅行业是高污染行业，能做到物料循环利用的话将非常厉害。
这其中四氯化硅的转化尤为重要。

四氯化硅的回收利用和环保最难做好了。谁能解决好四氯化硅的问题，其经济成本一定降下来；解决好环保问题，一定能提高多晶硅产业的声誉。现在的多晶硅工艺都不可避免的存在环境问题。

楼上的两位：
注意一下问题问的是大型多晶硅还原炉。。。。

变压 还有电的消耗

主要是电气部分，多晶硅棒在生长过程中电流是不断的变化着的，如何掌握变化规律并在生产过程中体现出来控制很关键。消耗品如石墨卡头等材质要好。冷却系统很复杂，很小空间里布满了很多冷却管管壁很薄加工很难。