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多晶硅工厂有使用H2做气密试验的吗?

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发表于 2010-7-8 19:17:17 | 显示全部楼层
我们没有用
直接氮气
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发表于 2010-7-8 21:34:24 | 显示全部楼层
我们没有用过。第一 H2的成本太高。第二 如果系统有泄漏有一定的安全隐患。
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