大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

12
返回列表 发新帖
开启左侧

爆米花,生长裂缝的形成原因分析?

[复制链接]
 楼主| 发表于 2010-7-24 15:48:46 | 显示全部楼层
有的资料说,主要是由于H2与三氯氢硅的摩尔比值引起的,比值低,生长的致密。比值高,生长的疏松,就容易生长爆米花。这样说有道理吗?
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-7-24 20:32:56 | 显示全部楼层
个人感觉
温度是主要原因
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-7-24 20:40:28 | 显示全部楼层
这个确实是温度的原因,分阴面和阳面的关系。靠炉心一面温度高会出现这样的情况,壁面温度低一般要光滑。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-7-29 17:35:28 | 显示全部楼层
回复 2# moon524
硅棒表面局部沸腾现象,可以说具体点吗?谢谢
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-8-25 15:05:41 | 显示全部楼层
这个主要是炉内温度控制不好引起的,硅棒径向温度差异大是很容易引起裂棒。玉米状也是因局部温度过高引起的。通常是硅棒的顶部温度较高!
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-8-25 18:03:22 | 显示全部楼层
爆米花是出现在硅棒中上部还是阴阳面
温度过高,与料量和电流都是有关系的,尤其是中上部爆米花过多,是料量无法达到硅棒的高度,局部过热,一般根部和靠近炉筒的 一面出现的少,根部是因为料量较充足,靠近炉筒壁的温度较低,但靠近炉筒壁的一面往往涨的慢
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-8-26 01:54:36 | 显示全部楼层
这个正常,上面夹角地方电阻比较大所以通过的电流较多,加上炉内的料流动很难充分达到上面,所以就产生了这种情况。两种方法一是低温生产,二是让料上去。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-9-13 08:12:56 | 显示全部楼层
加大氢气流量  还有
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-9-14 16:10:22 | 显示全部楼层
你的TCS纯度和质量有问题
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-9-15 15:59:08 | 显示全部楼层
我们实验的结果是和氢气中的氯化氢含量有一定的关系,氢气中混杂的氯化氢会对硅棒造成腐蚀
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-5-3 07:58 , Processed in 0.043633 second(s), 23 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表