爆米花，生长裂缝的形成原因分析？

发表于 2010-7-13 10:21:18

请问各位高手，硅棒表面的爆米花是怎么样形成的，通过控制TCS和H2的相关参数能有效的控制么？生长裂纹一般是在爆米花严重的地方出现，他的形成原因是什么？

发表于 2010-7-17 16:44:33

一般不是和混合气流量有很大关系。最主要的*棒长到80以后的电流控制问题。电流过大时硅棒表面温度过高，会产生局部表面沸腾现象，所以出现爆米花现象。

发表于 2010-7-19 23:06:45

表面沸腾是个什么过程，还请楼主指教？？

发表于 2010-7-20 08:40:32

回复 3# 化工人士
温度高，晶体形核速度大于晶体长大速度

发表于 2010-7-20 23:43:30

表面沸腾是什么意思?

发表于 2010-7-21 11:52:54

温度有个范围值，高了或者低了都有可能产生爆米花，不过大部分都是温度过高产生的

发表于 2010-7-22 10:01:59

表面沸腾？怎么一回事啊？

发表于 2010-7-22 10:28:48

期待更多的专家点评

发表于 2010-7-22 11:51:32

进气按标准曲线调整，不要太大波动
电流也要按规定加
设计院没给你们操作章程么
另外考虑加喷嘴

发表于 2010-7-23 16:22:55

主要在哪个位置出现

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