回收氢气中的甲烷是如何生成的

我们厂回收氢中也有，甲烷，原因不明，很是不能理解

肯定是氢化炉产生的，在高温下，石墨与H2反应会产生CH4.要除掉CH4的话，楼主不防将再生H2排放掉一部分，这样可以减少系统中的CH4含量

CID 根本就不可能产生甲烷，甲烷估计是在金属硅粉中引入的吧

本帖最后由 tdd 于 2010-12-21 15:43 编辑
我也很想知道，甲烷含量高会影响产品中的碳含量

我们用气相法分析回收氢中TC含量在5ppm以下，而且特别稳定，偶尔波动时查原因主要是三氯氢硅中甲基氯硅烷含量高所致，有时候外购三氯氢硅或四氯化硅中含有一定量的导热油，提纯不好时也会进入还原炉生成甲烷随尾气进入回收氢。活性炭中的碳粉也会进入回收氢，但一般不具备生成甲烷的条件，除非楼主回收氢系统的除尘装置不够精密。

甲烷产生是在还原炉中氢与石墨夹具在高温下产生的副产品，这个反应是无法排除了，只能在cdi中想办法剔除，降低含量

氢化炉中炭制品与氢气反应产生的

我们没有氢化工艺。
我们用气相法分析回收氢中甲烷含量。
初步认为和原料及精馏效果有关系，但不能肯定。现在甲烷含量在20以下。