回收氢气中的甲烷是如何生成的

发表于 2010-10-7 15:36:14

各位，正常分析回收氢气中的甲烷含量为5PPM，但这两个月逐步上升，现在达到了50PPM。
请问，甲烷是如何产生的？对多晶硅质量有多大的影响？控制指标应为多少？如何降低甲烷含量？
请不吝赐教！

发表于 2010-10-7 16:36:57

没听说回收来的氢气里有甲烷存在啊。

发表于 2010-10-7 19:33:52

有可能高温下活性炭与氢气反映产生的

发表于 2010-10-7 21:40:36

不知道你们是不是热氢化，如是热氢化，氢化产生的可能性大点。

发表于 2010-10-7 22:12:34

怎么会是甲烷啊,,,是氯硅烷啊,,,,,不懂

发表于 2010-10-8 09:54:18

原因1：活性炭吸附器影响
原因2：物料中有含碳物质，没有去除
拙见，抛砖引玉...

发表于 2010-10-8 11:18:30

尾气回收CDI本省只是起分离作用，本身不会产生甲烷，如果含有就很可能是四氯化硅热氢化的过程中生产的。很难想象CDI吸附塔在哪个温度、压力下能产生甲烷，我个人认为这是没有依据的推测。

发表于 2010-12-18 10:30:53

可能原料三氯氢硅带入的含碳物质而引起的

发表于 2010-12-18 14:10:03

看看你们氢化反应器隔热罩与发热体什么材质的
C+ H2O → CO + H2 → CH4 + H2O

发表于 2010-12-18 14:19:42

楼主是怎么检测到甲烷的？

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