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三氯氢硅合成炉烧坏?合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏,知道是什么原因造成的吗?赐教!

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发表于 2011-1-4 12:10:13 | 显示全部楼层
不是因为过氯的原因导致的,是用的硅粉含水量偏高、氯化氢含水大、气量小或者氯化氢分布器不好硅粉未能流化导致局部过热。
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发表于 2011-1-4 16:35:02 | 显示全部楼层
没搞明白:
一、TCS合成炉有喷嘴?
二、TCS合成炉需要过氯?
感觉又是在说HCL合成炉,好像又是在说TCS合成炉,到底在说那个嘛?
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发表于 2011-1-9 16:20:15 | 显示全部楼层
HCL含水高
流量低
停车没吹氮气
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 楼主| 发表于 2011-1-9 19:06:57 | 显示全部楼层
回复 13# hxm8561
    请问HCL流量低TCS合成炉的温度会出现什么现象?因为我觉得我们的炉子通量还比较高吧。
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发表于 2011-1-22 15:15:17 | 显示全部楼层
主要原因是氯化氢流量低,可能是后边起压了氯化氢通量少了,
也可能是开车时炉内硅粉没吹起来。局部超温,这个从合成炉控制曲线可以看出来
还有就是材质问题了
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发表于 2011-1-23 13:11:57 | 显示全部楼层
HCL流量低,会使硅粉在分布盘上反应较多,造成底部温度很高,从而造成喷嘴烧坏
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发表于 2011-1-24 10:25:21 | 显示全部楼层
硅粉在流化床上分布不均匀,造成局部反应放热温度过高,这要用热氮气把硅粉吹浮使其均匀与氯化氢反映
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