三氯氢硅合成炉烧坏？合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏，知道是什么原因造成的吗？赐教！

发表于 2011-1-4 12:10:13

不是因为过氯的原因导致的，是用的硅粉含水量偏高、氯化氢含水大、气量小或者氯化氢分布器不好硅粉未能流化导致局部过热。

发表于 2011-1-4 16:35:02

没搞明白：
一、TCS合成炉有喷嘴？
二、TCS合成炉需要过氯？
感觉又是在说HCL合成炉，好像又是在说TCS合成炉，到底在说那个嘛？

发表于 2011-1-9 16:20:15

HCL含水高
流量低
停车没吹氮气

发表于 2011-1-9 19:06:57

回复 13# hxm8561
请问HCL流量低TCS合成炉的温度会出现什么现象？因为我觉得我们的炉子通量还比较高吧。

发表于 2011-1-22 15:15:17

主要原因是氯化氢流量低，可能是后边起压了氯化氢通量少了，
也可能是开车时炉内硅粉没吹起来。局部超温，这个从合成炉控制曲线可以看出来
还有就是材质问题了

发表于 2011-1-23 13:11:57

HCL流量低，会使硅粉在分布盘上反应较多，造成底部温度很高，从而造成喷嘴烧坏

发表于 2011-1-24 10:25:21

硅粉在流化床上分布不均匀，造成局部反应放热温度过高，这要用热氮气把硅粉吹浮使其均匀与氯化氢反映

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