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三氯氢硅合成炉烧坏?合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏,知道是什么原因造成的吗?赐教!

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发表于 2010-12-21 23:35:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏,知道是什么原因造成的吗?赐教!
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发表于 2010-12-22 10:17:59 | 显示全部楼层
不是因为过氯的原因导致的,是你用的硅粉没有干燥的很好,硅粉含水量偏高。还有可能是你硅粉在分布板上分布不均匀,产生了局部过热,这种情况影响相对较小。
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发表于 2010-12-22 19:38:42 | 显示全部楼层
同意上面的说法,也可能HCl里面含水量高
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发表于 2010-12-23 10:20:48 | 显示全部楼层
我个人认为是HCL流量低引起的
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 楼主| 发表于 2010-12-23 13:45:00 | 显示全部楼层
回复 2# qhzhgod
    局部过热有可能,但是我的HCL通量不小就不应该沸腾不好啊,而且合成液纯度还能到80~85%。
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 楼主| 发表于 2010-12-23 13:47:04 | 显示全部楼层
回复 3# 洛水长流
    HCL的含水量肯定没有问题,因为我的原料气露点都是很好的,开车到现在HCL合成炉都没有出现过冷凝酸的。
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发表于 2011-1-1 21:11:36 | 显示全部楼层
氢气里面也含有一定的水分,还有,停车后炉内还有残存的气体,冷却后会产生酸存留在灯头里,刚开车升温的时候就会造成灯头损坏
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发表于 2011-1-1 21:11:44 | 显示全部楼层
氢气里面也含有一定的水分,还有,停车后炉内还有残存的气体,冷却后会产生酸存留在灯头里,刚开车升温的时候就会造成灯头损坏
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 楼主| 发表于 2011-1-2 17:15:53 | 显示全部楼层
回复 8# 谭寅
    我是指三氯氢硅合成炉的喷嘴被烧坏,不是HCL合成炉的,不过就算有冷凝酸应该也不会造成灯头损坏吧,我们的冷凝酸只有在开车时氢气跟氧燃烧后才会有冷凝酸产生,我们的原料气都是控制在100PPM以内的。
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发表于 2011-1-3 11:27:08 | 显示全部楼层
1.过氯然烧
2.流量低
3.材质问题
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