还原炉内产生SiH3Cl的原因是什么？

发表于 2011-2-28 16:14:00

没反应完全嘛，单程转化率仅仅有百分之十几

发表于 2011-3-3 10:15:04

一氯三氢硅的物性怎么样？

发表于 2011-3-3 17:18:08

楼上的各位看清楚楼主标题啊，不是三氯氢硅，是一氯硅烷，囧

发表于 2011-3-4 08:31:31

lz你怎么确定是一氯三氢硅？还原炉的操作条件怎么样？

发表于 2011-3-4 11:04:01

回复 14# gysmlhd 尾气回收工序中，精馏塔塔底的SiH3Cl的含量比较高，有时候SiH2Cl2的含量也超过10%，一直不知道是什么原因？

发表于 2011-3-4 11:41:37

期待着正确答案...

发表于 2011-3-4 19:16:43

尾气温度高了没有及时冷却

发表于 2011-3-10 17:10:08

回复 17# 硅儿子
为什么这么说呢？确实，我们的还原炉是有尾气温度过高报警停炉的现象。

发表于 2011-3-11 13:28:39

尾气中的氯硅烷气体是很复杂的，如果是SIH3CL增多应返回精馏塔中剔除，这样才能控制非主要的氯硅烷量被带入还原炉中。

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