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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 提高三氯氢硅反应收率的方法

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提高三氯氢硅反应收率的方法

发表于 2011-4-15 14:15:44 | 显示全部楼层

影响TCS合成收率的主要因素有：温度、硅粉粒度、料层高度，游离氯、氧和水、HCL流量和纯度。希望给你有帮助。

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发表于 2011-4-15 16:11:13 | 显示全部楼层

硅粉的品质，反应器的控制

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发表于 2011-4-15 19:25:47 | 显示全部楼层

其实是在温度300-400主要是硅粉质量

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