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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 提高三氯氢硅反应收率的方法

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提高三氯氢硅反应收率的方法

发表于 2011-4-5 15:53:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

求解如何提高三氯氢硅的反应收率除了温度、压力等影响外请大家帮忙讨论一下还有什么别的因素

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发表于 2011-4-5 17:16:00 | 显示全部楼层

硅粉的活性
加料速度

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发表于 2011-4-6 11:56:32 | 显示全部楼层

料层高度
氯化氢流量纯度含氧含水
硅粉的粒度纯度

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发表于 2011-4-6 12:03:45 | 显示全部楼层

反应温度的控制，硅粉的品质，

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发表于 2011-4-6 14:14:01 | 显示全部楼层

催化剂的使用量和加入形态

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发表于 2011-4-6 15:33:33 | 显示全部楼层

氯化氢纯度水份
硅粉含量
料层的高低

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发表于 2011-4-7 11:04:45 | 显示全部楼层

反应温度、炉内压差、原料质量、操作方法

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发表于 2011-4-11 11:33:23 | 显示全部楼层

事实证明。。控制HCL含水和硅粉品质很重要！！

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发表于 2011-4-15 08:58:23 | 显示全部楼层

经验中提到反应炉中有少量的氢气和四氯化硅，会抑制四氯化硅的生成

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发表于 2011-4-15 12:50:59 | 显示全部楼层

流量、纯度和催化剂也有很大关系

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