多晶硅还原炉钟罩清洗

首先我认为还原炉桶没有必要清洗的太频繁。
新炉筒、底盘要酸洗钝化，清理焊渣、打毛刺，用洗涤剂或丙酮去油后纯水冲干净。
如果炉筒、底盘长期使用后上有硅油、水解物等，要用氟化氢铵溶液浸泡，然后用纯水充分冲洗，特别注意防爆孔、窥视孔、测温孔、电极孔、进出气孔。
炉桶使用前要通上热源氮气充分干燥。

可以先用碱液浸泡清洗干净后，用清洗机清洗，用的是脱盐水。然后用氮气 吹干就可以了！

每次都要清洗吗？清洗一次的时间是多少呀？

13# mxianglin 不用每次清洗，清洗时间大概40~50分钟

我听说江苏顺大公司上了一套高压水清洗多晶硅还原炉钟罩的设备，一期已经投入使用。是北京意美德通科技发展有限公司设计的生产线，你可以查查。

经常清洗是不是对设备不阿好
1# kitewxg

清洗要彻底，否则会严重影响质量

直接用纯水经过高压水泵冲洗，效果蛮好的，时间在15分钟左右。

碱洗、水洗、热氮气烘干

使用高压水冲洗，再用干燥洁净的压缩空气吹干，效果不错。