多晶硅还原炉钟罩清洗

多晶硅生产过程中，多晶硅沉积过程结束后，常需要清洗还原炉的钟罩。这里有几个问题想和大家讨论：、
（1）还原炉钟罩清洗一般采用方法？
（2）清洗剂一般采用去离子水还是碱液或者别的什么物质？
（3）是否有相应的清洁标准可以参考？
（4）清洗液的温度和水压大概是多少？
当然，工艺不同，还原炉的结构尺寸不同，也必然存在清洗方式的不同，请大家给出真知灼见。

MSA公司有款AKP自动清洗机，先用碱液清洗，再用脱盐水清洗。

用碱液和脱盐水，但是有时候还要用到打磨机（此打磨机特制，不会导致炉内物质打火）

现在不是有干法清洗吗？不知道怎么样?

用金属洗涤剂或脱脂膏清洗，清洗之后用纯水冲干净，必要的时候用丙酮擦一边，再用氮气吹干

德国凯驰专门做清洗的，可以洗还原炉钟罩，但是没有用过！

先浸泡一下，然后可用碱液清洗，最后用纯水冲洗，烘干

也有直接用高压脱盐水直接冲洗的，效果还可以

老外介绍是用热碱液清洗。

用纯水洗   而后用碱液冲一下  在用纯水冲干净后用氮气吹干。