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进料后硅芯出现白色薄膜

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发表于 2011-5-25 22:06:38 | 显示全部楼层
应该是硅芯长了几个小时后意外停炉,拆炉后看到硅芯表面有一层薄薄的白色的膜。可能是炉子开车置换时氧含量和露点都偏高(仍然在要求范围内),tcs反应产生了二氧化硅
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发表于 2011-5-25 22:20:06 | 显示全部楼层
应该是氧化物了,炉筒脏,未置换干净都有可能!!
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