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进料后硅芯出现白色薄膜

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发表于 2009-6-30 20:56:05 | 显示全部楼层 |阅读模式
刚开始进料时,硅芯表面总会出现一层薄膜状的的皮,随着时间推移不久又被吹掉,什么原因啊,薄膜是什么东西
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发表于 2009-7-2 22:43:52 | 显示全部楼层
可能是硅的氧化物。空烧的温度不够或时间短,硅心表面上的氧化物不能完全除去,
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发表于 2009-8-4 10:34:24 | 显示全部楼层
进料太快了。 1# miaofeng120
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发表于 2009-8-5 12:53:53 | 显示全部楼层
可能是炉内气体没有置换干净,残余的水分子和三氯氢硅反应了
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发表于 2009-8-7 16:22:34 | 显示全部楼层
也可能是炉内太脏,需要清洗了
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发表于 2009-8-7 21:22:03 | 显示全部楼层
硅芯导电后,我觉得只能看到红通通的,能看到白色薄膜吗?
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发表于 2009-8-8 00:12:57 | 显示全部楼层
硅芯导电后,我觉得只能看到红通通的,能看到白色薄膜吗?
jiangkunrong1 发表于 2009-8-7 21:22

                                
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那个是异常现象啊..........正常情况当然没有了....
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发表于 2009-8-7 21:22:00 | 显示全部楼层
炉内或管道不干净,有杂物,生产一次就好啦
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发表于 2009-8-9 01:51:35 | 显示全部楼层
你们是没见过那个红吧,再异常我觉得也不可能不是红的而是白的呀
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发表于 2009-8-10 19:47:46 | 显示全部楼层
炉筒太脏,或者进入尾气
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