用四氯化硅生产多晶硅 （合并帖）

有一些资料如日本智索的工艺

现在多晶硅是个很火的产业，生产多晶硅最主要的是用改良西门子法，也就是还原三氯氢硅得到，但是副产品四氯化硅较多，其他的还有很多方法，其中有四氯化硅的氢气或锌还原，并且日本已经在用锌还原了，锌还原四氯化硅来制备多晶硅的难点在那？为什么国内的没有用这种方法？有相同兴趣的可以相互讨论下，共同学习
[ 本帖最后由 jk001007 于 2008-9-10 17:32 编辑 ]

四氯化硅制多晶硅好像技术还不是很成熟啊！

好象转化率很低,副产物更多.

还原成本太高了，国内还都没有达到那个水平，现在产的四氯化硅基本上就是废物

四氯化硅制多晶硅的技术还是成熟的，北京934厂曾经生产出几十吨合格产品。
我国改良西门子工艺每生产1t多晶硅产品将产生近14t的副产物SiCl4，一般通过四氯化硅氢化技术或四氯化硅综合利用（生产白炭黑），以达到四氯化硅的循环使用。但四氯化硅氢化技术工艺不成熟，投资大，四氯化硅生产气相白炭黑技术被国外少数公司掌握和对产品进行市场垄断，难以打入。因此四氯化硅大量对外销售造成我国现有多晶硅生产厂原料硅、氯用量的增加，采购、运输压力加大。
我们设计了两套用四氯化硅制备多晶硅的项目，有兴趣的朋友可以联系交流
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-14 09:31 编辑 ]

现在可以把四氯化硅转化的基本上就是氢化和制成白炭黑，还听说可以用四氯化硅直接还原的，有氢气还原和锌还原，工业化的国内还没有听说

主要是由于多晶硅生长速度太慢了，所以很少用

用四氯化硅制备多晶硅的工艺，有几十吨产量的经验
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-14 09:34 编辑 ]

四氯化硅还原制备多晶硅，沉积速率比较慢，电耗高，是不合算的。整个世界用四氯化硅还原制备多晶硅可以说都不很成功，就连德国Wacker做了50多年的多晶硅也没这样的技术。