三氯氢硅含量偏低什么原因

发表于 2011-3-19 23:00:29

你们公司是什么工艺？主要看工艺流程

发表于 2011-3-20 09:36:48

回复 8# wang200425
可能会有点氮气

发表于 2011-3-20 09:42:51

回复 11# 海藻
测温点距离分布板540，不知位置是否合适？

发表于 2011-3-21 11:04:20

加大HCl流量后效果应该会好点了吧？

发表于 2011-3-21 12:53:34

回复 15# wuht0
加大流量后含量含量还是偏低，是否跟原料硅粉的活性有关系呢？

发表于 2011-3-21 13:08:43

和硅粉也有关系，再就是和合成炉的压差还有系统压力也有关，是加压还是常压啊？

发表于 2011-3-21 15:44:59

回复 17# zhouhongchang
我们基本是常压,氯化氢压力在0.08MPa左右，压差在0.01MPa。

发表于 2011-3-21 19:02:31

如果是常压的话，你的压差有点高，降低一下硅粉层，如果没有DCS的话注意温度的控制和稳定

发表于 2011-3-22 07:47:30

回复 19# zhouhongchang
非常感谢，我们明天正式开车，希望你的指导能给我们带来福音！

发表于 2011-3-22 08:37:07

回复 11# 海藻
测温点该怎样分布?谢谢！

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