三氯氢硅含量偏低什么原因

再看下那25%的组分是怎样的来判断反应条件是否合适

反应点偏低。适时调整一下反应点

回复 2# 阳光媚
    75%三氯氢硅，24%左右的四氯化硅，1%左右的二氯二氢硅，1%左右的氯化氢，请指教。

回复 3# zhouhongchang
    分布板上部温度已经达到360-370度左右

那再就是底部温度过高，合成炉没有沸腾起来，反应不好，加大一下氯化氢的流量看看，

回复 4# xyg123456
    从你提供的情况看，可能是反应温度偏高了，或者是没有流化起来，可适当地增加些氯化氢或者用氮气帮助先流化起来。

回收气取样点是否是单独的，是否会有其它系统stc串气可能

回复 6# zhouhongchang
    谢谢！我们会加大流量调试！

回复 7# 阳光媚
    谢谢，我们会增大氯化氢流量继续调试。

测温点的分布也很重要，要尽量接近实际的反应区，否则看似温度低，但实际上已经很高了。