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多晶硅脆是什么原因造成的?

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发表于 2012-1-19 16:47:56 | 显示全部楼层
在生长过程中速度快致密度差,也会导致脆、、
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发表于 2012-1-20 22:22:17 | 显示全部楼层
我个人看法是,对于某些还原炉改进技术的探讨,还不如培养几个专精还原炉操作人员
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发表于 2012-1-31 10:38:32 | 显示全部楼层
生长过程中温度控制过低。适当提高硅棒温度
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发表于 2012-2-14 20:31:58 | 显示全部楼层
关键在温控温控好了生长速度控制的好了 即使直接断电一样的致密结实 至于通入氮气 没敢试过 毕竟表面氮化了 一炉就完蛋了  就目前我的认识来说 虽然停炉时间和方法对多晶硅棒有影响但是也不是很大
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发表于 2012-2-20 02:52:48 | 显示全部楼层
降温太快了
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