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多晶硅脆是什么原因造成的?

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发表于 2012-1-10 15:55:34 | 显示全部楼层 |阅读模式
进同时期的料,生长周期同行,挨着的两台炉为什么出的硅棒一炉正常,一炉较脆,一摔便成多个小碎块,是什么原因倒致的?望高手指教!
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发表于 2012-1-10 16:12:16 | 显示全部楼层
后期降温过程中控制不同,即在温度高的时候,就停止通电了,但是氢气还在通入,导致出现冷脆,所以国外有一种破碎方式叫做冷脆法,就是在硅棒热的时候,通入冷氮气,让硅棒受到严重的温差刺激,由于应力作用,从而破碎.
介绍:多晶硅棒在加热装置中加热到预先设定在温度后,通过加热装置中的传送机构将加热后的多晶硅棒送到与加热装置相连的急冷装置中,该急冷装置内有流动的冷却介质,冷却介质使多晶硅棒急速冷却,因此,多晶硅棒产生热应力而破碎。与现有技术相比,本技术方案解决了现有技术依靠纯人力操作导致的杂质污染以及操作人员劳动强度大,生产效率低,进而不适用于大规模生产的问题。
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发表于 2012-1-10 17:11:17 | 显示全部楼层
这个就是你停炉的温度降低太快了,硅棒中的热应力还没有来的及释放,所以你的热应力集中造成的脆。
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发表于 2012-1-11 01:42:36 | 显示全部楼层
配比有误差呗


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发表于 2012-1-11 09:06:21 | 显示全部楼层
虽然进同时期的料,周期也一样,但也给操作者有很大的关系,不同的人操作或同一个人不同的操作方法都有可能造成不同的结果,多晶硅长成后如果降电流太快或立即断电都会使多晶硅棒造成急冷,从而变脆,多从生产过程的各个方面找一下原因,比如原料、设备、工艺指标及操作者本身等等
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发表于 2012-1-11 11:40:31 | 显示全部楼层
后期降温过程中控制不同,即在温度高的时候,就停止通电了,但是氢气还在通入,导致出现冷脆,所以国外有一种破碎 ...
炸你象猪头 发表于 2012-1-10 16:12

                                
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    这么说脆反而好了?
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发表于 2012-1-10 16:12:00 | 显示全部楼层
在停炉时,进料要按曲线进行降量,温度也相应按电流曲线降,停完后,还不能急着拆,置换时间要够等等都是原因。
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发表于 2012-1-13 13:13:22 | 显示全部楼层
停炉时太快了,应该按照曲线停炉…
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发表于 2012-1-13 21:00:51 | 显示全部楼层
硅棒每一根都脆是什么原因呢?
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发表于 2012-1-18 15:50:51 | 显示全部楼层
生长速度太快,也应该是导致脆的原因!!!
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