CVD尾气直接进还原炉再反应

回复 10# qingfengzhiyou
我这个不是随便说的，看工艺了，我们私下交流

回复  qingfengzhiyou
我这个不是随便说的，看工艺了，我们私下交流
luoye888 发表于 2012-1-10 14:02

                                
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    谢谢，麻烦你分享一下相关资料，皮毛即可！

节能是首要问题
多晶硅生产需要个别的猜想
也需要从整体考虑节能
我觉得目前我们应该做的是
把物料平衡与热平衡做到比较完美的程度再考虑其他

创新倒是创新了，不知道长出来的产品是啥样子。。hcl在里面挺麻烦吧。。期待新工艺横空出世。。。

287789398 发表于 2012-1-7 12:15

                                
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听说过这样的说法，没试验过
不过分析一下，尾气中STC、HCL含量都很高，如果真的可行的话，多晶纯度应该 ...
还原尾气基本没有HCL呀？因为全转化成STC了。只有极少部分没来得及转化的，带入到了尾气中。

楼主所述工艺方法的目的还是省去对STC的处理能耗，减少多晶硅生产总耗。但个人感觉按照此方式生产，整个过程中还原副产的STC根本就没有被消耗，会不断的积累，最终会严重影响还原反应的效果，一次转化率可能会有较大幅度的下降，估计最终并不会节能。
个人认为对于CVD的尾气，还是需要将TCS和STC分开，有利于还原转化率的提升，但是HCL和H2就没有必要完全分开。如果采用将CVD尾气直接降温，将氯硅烷与（HCL、H2）混合气分开，混合气直接再与补充H2混合进还原炉参与反应，是否可行？若可行，最起码可以节约还原尾气回收过程中的大部分能量，如脱吸、深冷等。

这样说吧，如果还原氯硅烷不精馏就可以产出合格产品，楼主说的即可行，反之亦然。。。。。。。。。。。。。。

楼主看的文章是否可以分享一下啊？或者标题晒出来大家看看！