CVD尾气直接进还原炉再反应

发表于 2012-1-6 10:23:15

接触一篇论文中写道，还原炉尾气直接进第二台还原炉作为原料混合气反应
这种工艺是否可行？是否在国内有试验？
同时，永祥多晶硅200T的生产线也有类似的工艺，两者有何区别？
永祥多晶硅的实际生产情况如何？

发表于 2012-1-6 13:21:59

明白了尾气的组成就知道行不行了
鼓励、支持技术进步
但技术进步不是头脑发热的一时冲动

发表于 2012-1-6 13:57:53

还原尾气是指反应后的气体？其中有大量的STC，岂不是效率很低？还原电耗很大？没接触过这样的工艺，有知道的详细说说。

发表于 2012-1-6 20:42:07

分析一下尾气的成分就知道了尾气部分用流化床这个感觉可行但是TCS的流化床现在不知道有没有这样热量就能很好的利用了综合成本应该相对于重新精馏再生产少很多吧

发表于 2012-1-7 12:15:38

听说过这样的说法，没试验过

不过分析一下，尾气中STC、HCL含量都很高，如果真的可行的话，多晶纯度应该OK，
能耗及外观质量就不好说了

发表于 2012-1-8 11:28:59

尾气直接进第二台还原炉无非是想节能，众所周知，TCS与H2在还原炉反应后，尾气为STC、DCS、TCS、H2、HCL的混合物，还原反应本来就是复杂的可逆反应，上述几种氯硅烷的反应温度又大不同，所以直接进第二台还原炉会造成反应效率、沉积率、产品质量的严重下降，总体来看是不利的。
以上为个人主观臆断，未经事实验证，与各位探讨兼回答站内一位朋友短信息的疑问。

发表于 2012-1-8 15:32:40

这无疑又是多晶硅技术的一次创新，期待中！

发表于 2012-1-9 08:24:34

这个在好的地方都是这样的，回收的尾气直接进入还原炉进行反应

发表于 2012-1-9 10:32:31

可以详细介绍下吗？

发表于 2012-1-10 12:55:52

这个在好的地方都是这样的，回收的尾气直接进入还原炉进行反应
luoye888 发表于 2012-1-9 08:24

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不是随便说说吧？！

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