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加压还原的利与弊探讨

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发表于 2009-4-5 11:09:31 | 显示全部楼层
加压可以加快多晶硅成长速度,提升产量。
加压可减少电耗。硅棒表面形状不好。
但电阻率、多晶硅质量与之无关,与物料纯度有关。
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发表于 2009-4-5 16:17:05 | 显示全部楼层
加压首先对还原炉的设计有要求,窥视孔,底盘密封垫,电极垫片,石墨卡瓣等,加压加快反应速率,加速多晶硅在硅棒表面的沉淀,当然降低电耗,提高产量。
缺点主要是对质量的影响,安全事故以及设备损伤。进气的调节操作,能否保持稳定的流量曲线都会影响到产品本身的质量,基本同意10楼的看法
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发表于 2009-4-6 14:47:55 | 显示全部楼层
你那里使用的是几公斤的系统压力呀
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发表于 2009-4-15 22:06:04 | 显示全部楼层
加压生产对设备的要求提高了,但可以缩短生产周期,节省能耗,从而降低成本,是目前一种提高多晶硅产量的方法。
但是,也增加了危险系数。对操作工的操作技能药企也提高了。
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发表于 2009-4-16 08:17:59 | 显示全部楼层
请教各位,大家说的加压是在什么水平上加压? 不加压是常压还是压力多少的时候? 还有就是,大家都说加压会使多晶硅不纯,影响质量,可是加压的时候,进料也都是纯度相当高的原料,生产出来的产品为什么会不纯呢? 谢谢
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发表于 2009-4-16 13:27:37 | 显示全部楼层
前面同志已经讲了,质量不好是指不致密,沉积形态等,化学组成应该没有多大影响,主要是原料成份
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 楼主| 发表于 2009-4-18 12:22:05 | 显示全部楼层
加压到两公斤,电耗降至130度/公斤,反应周期大大缩短是电耗降低的主要原因,因为沉积速率变快,外形上面会不怎么好看 但绝对不是泡沫硅
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发表于 2009-5-26 19:47:20 | 显示全部楼层
加压能够延长物料在还原炉内停留的时间,提高一次反应率,从而能够缩短生产周期,提高产量。当然对还原炉的要求也就提高了,因此还原炉的设计是很重要的!
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发表于 2009-5-27 12:16:49 | 显示全部楼层
加压确实能够降低电耗,缩短生产周期。但是加压之后倒炉有点厉害,现在也没有弄明白。
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发表于 2012-1-8 22:25:26 | 显示全部楼层
加压可以加快多晶硅成长速度,提升产量。加压可减少电耗。硅棒表面形状不好。但电阻率、多晶硅质量与之无关,与物料纯度有关。
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