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加压还原的利与弊探讨

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发表于 2009-2-23 10:34:01 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 xingxing916 于 2012-2-29 08:23 编辑
目前,多晶市场不景气,让我们考虑到降低成本,减少物耗,在一些资料上看到还原炉加压可以大大提高沉积速度,减少电耗,但是也听说加压后多晶质量下降,烦请开过加压还原的人士给予意见,以及开加压还原需要注意的问题,大家一起讨论,踊跃发言!
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发表于 2009-2-23 14:41:19 | 显示全部楼层
从主反应的角度出发,加压应该是不利于反应才对,所以一直没有明白使从什么角度考虑的加压反应,不过加压确实电耗会降低......
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发表于 2009-2-24 14:56:40 | 显示全部楼层
加压后产品质量应该会变差。
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发表于 2009-2-24 15:30:27 | 显示全部楼层
我个人理解为:加压后,还原炉内物料密度随之成倍数级增加,从而增加了沉积速度,电耗随之下降;同时因物料在炉内停留时间加长,金属杂质累积于炉内更多,造成质量可能相对下降。不过我更多的认为,进料物料的纯度对质量的影响才是根本
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 楼主| 发表于 2009-2-24 15:36:40 | 显示全部楼层
不明白为什么加压后质量会变差,我想是不是根本原因在于加压需要大量的混合气进入还原炉,提纯设计或者说出料量跟不上而导致提纯塔超负荷运转,根本原因是精馏出来的三氯氢硅不合格,而导致多晶产品质量变差呢?
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发表于 2009-2-26 12:00:06 | 显示全部楼层
加压后沉积速度会增加,但是质量都不好,硅棒不致密
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 楼主| 发表于 2009-2-26 13:33:08 | 显示全部楼层
沉积速度变快 和质量有什么关系呢  只是棒不致密,有些玉米粒状而已,现在都用于直拉单晶又没有要求,再说沉积速度快不是期望的嘛?可以缩短生长周期,提高产能
有开加压的同志们,站出来讲讲哦
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发表于 2009-2-26 13:57:46 | 显示全部楼层
目前多大的压力算是加压还原?
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发表于 2009-2-26 22:23:54 | 显示全部楼层
加压可以缩短生产周期,质量跟物料纯度相关吧
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发表于 2009-2-28 14:45:45 | 显示全部楼层
利:1,缩短生产周期;2,降低了还原电耗。
弊:1,产品质量不好;2,对设备要求高;3,容易出安全事故。
有得必有失哈!
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