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击穿不成功原因

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发表于 2012-6-5 12:15:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
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发表于 2012-6-5 19:11:00 | 显示全部楼层
请将你的问题描述具体点,以便于准确地探讨
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发表于 2012-6-5 12:29:05 | 显示全部楼层
1  硅芯电阻率太高;
2 炉温不够,水温最好到130度以上;
3  横梁脱落;
4 硅芯太长,同一;
5 炉子内壁太脏(貌似不重要,其实会吃大亏的);
6 等等
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发表于 2012-6-5 21:07:17 | 显示全部楼层
5 炉子内壁太脏(貌似不重要,其实会吃大亏的);
楼上的,对这点,能否详细解释下???
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发表于 2012-6-5 22:18:58 | 显示全部楼层

010211 发表于 2012-6-5 22:18

                                
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5 炉子内壁太脏(貌似不重要,其实会吃大亏的);
楼上的,对这点,能否详细解释下???

炉壁的洁净度应该就是炉内热辐射效应,我觉得跟钟罩抛光亮度的概念差不多吧,自己的理解,还望高手指点。。
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发表于 2012-6-5 23:16:33 | 显示全部楼层
3楼说得很多了,但是炉壁脏这点还确实有点不理解,5楼说是热辐射效应,可是在第一对击穿成功之前炉内是不存在热辐射效应的吧,钟罩水的热传导还差不多。
另外我再加一点,击穿时炉压越低,越容易击穿。
出现难击穿的现象时,可以在装硅芯时,每炉配一组电阻率相对低的,装在最外圈(靠近钟罩壁),优先击穿这组。击穿第一组后,适当加点电流,让它烧一会提升炉内温度,再击穿其他的就基本没问题了。
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发表于 2012-6-5 22:18:00 | 显示全部楼层
以前做过试验,内壁不反光的确会影响击穿概率。 甚至有时候外圈中圈都击穿过了,内圈始终没有反应。 所以内壁的清洗是有用的。
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发表于 2012-6-6 13:56:57 | 显示全部楼层
楼上的总结都挺好,补充一点:在击穿过程中,最大限度(工艺允许的情况下)降低置换气体流量,从而减少气体对硅芯表面温度的损耗,简单点说就是置换量大,硅芯温度就低了,就不容易击穿了。
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发表于 2012-6-13 14:31:31 | 显示全部楼层
硅芯阻值不一。启炉是氮气还是氢气,有时候跟这两个也有关系的
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发表于 2012-6-13 15:29:42 | 显示全部楼层
补充一点  四氟套的绝缘有很大关系。。。。。。。。。。。。。。。。。。。凑字你懂个
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