硅棒表面异常颜色

发表于 2009-6-30 20:50:53

白色物质当然是二氧化硅

发表于 2009-7-2 22:51:26

问题很简单，氮气多多少少中含水和氧气，进入后发生水解和氧化反应

发表于 2009-7-3 00:24:00

氮气赶气是在哪个步骤啊？
硅棒表面出现问题一个是人为的停炉方法不对比如降电流停混合气可能形成低温硅颜色暗淡另外因素就是用来赶气的气体纯度出了问题测一下含氧量以及露点

发表于 2009-7-15 12:01:38

我建议停炉直接断电.这样就不会产生低温硅.还会节约很多氮气.氢气.三氯氢硅和电.后果就是会倒棒.不过没有关系.反正也是要砸成小块的.小心点取棒就是啦.（这是个秘密.一般我不告诉的）

发表于 2009-7-15 14:57:53

我建议停炉直接断电.这样就不会产生低温硅.还会节约很多氮气.氢气.三氯氢硅和电.后果就是会倒棒.不过没有关系.反正也是要砸成小块的.小心点取棒就是啦.（这是个秘密.一般我不告诉的）

小君无邪发表于 2009-7-15 19:20

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你太有才了！

发表于 2009-7-15 19:20:42

我给你说个停炉方法，停炉时同时降三氯氢硅和氢气最后降到混合气300立方的时候断电，绝对不会变黑色，如果有问题找我15048877028

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