硅棒表面异常颜色

本帖最后由 041130 于 2009-5-16 10:47 编辑

                                
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这是
什么原因
什么反应
什么物质
只是表面有

说下你们厂停炉时的操作步骤，我认为是停炉过程出的问题

应该是停炉过程出的问题，可能是停炉时氢气吹扫时间不够，硅棒表面温度还很高时就通氮气置换了。氢气和氮气反应生成氨。

应该是停炉过程出的问题，可能是停炉时氢气吹扫时间不够，硅棒表面温度还很高时就通氮气置换了。氢气和氮气反应生成氨。
mao12345 发表于 2009-5-16 11:55

                                
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那这生成的是什么物质呢

N2化！！！
停炉的时候出现的问题！

N2化！！！
停炉的时候出现的问题！
liuxiling0809 发表于 2009-5-16 14:51

                                
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N2化！！！
??????????????????????
到底是什么

我看硅棒被氧化了，硅棒被氧化时就是五颜六色的

我也见过类似现象，不过跟LZ照片颜色不同，是绿色，不过绿色和蓝色似乎也差不多，另外一般出现这种情况往往伴随着硅棒局部熔融的现象，推测可能是硅棒局部温度过高，熔融后没完全降温，与氮气发生了反应，可能其中含有氮化硅，但是还没有完全确定是什么物质

应该是棒的温度还没降下来就赶氮气得原因吧，硅棒氧化

如果在温度很高的情况下通氮气，硅棒表面就会被氮化。最好当温度降到500度以下再通氮气。