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三氯氢硅合成反应的问题

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发表于 2014-2-19 08:56:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大大:
多晶硅新人请教,若进TCS合成炉反应的HCL中有大量的H2,譬如H2含量高达50%,会不会导致合成反应无法进行?
谢谢!

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发表于 2014-2-19 11:02:19 | 显示全部楼层
反应是肯定的,关键是H2带走的热量和另外50%HCl和Si反应产生的热量哪个多。ok?
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发表于 2014-2-19 11:28:01 | 显示全部楼层
反应会有,产率很低,后期系统里不凝气体增多
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发表于 2014-2-19 11:29:27 | 显示全部楼层
只要达到氯化氢和硅粉的反应温度,反应就会进行。
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 楼主| 发表于 2014-2-19 11:37:20 | 显示全部楼层

xingjisanbing 发表于 2014-2-19 11:28

                                
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反应会有,产率很低,后期系统里不凝气体增多

不是很理解“产率低”的说话,个人认为HCL与Si属于快反应,几乎不受化学平衡的影响,尽管H2含量高达50%,但是Si还是反应完全了。
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发表于 2014-2-19 11:28:00 | 显示全部楼层
H2会带走大量的热,使反应温度达不到或者稳定不了在反应最佳温度,三氯氢硅产率就低了,HCL与Si反应可是有三种产物的。
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发表于 2014-2-19 11:47:31 | 显示全部楼层

xingjisanbing 发表于 2014-2-19 11:47

                                
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H2会带走大量的热,使反应温度达不到或者稳定不了在反应最佳温度,三氯氢硅产率就低了,HCL与Si反应可是有三 ...

x大
請教HCL和Si反應為TCS和H2這兩個產物,第三種為何產物?
至於合成爐中後期會出現惰性氣體,這是由Si粉輸送的氮氣累積而來的嗎?還是因為反應生成的??
請解答一下,謝謝.
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发表于 2014-2-20 08:47:22 | 显示全部楼层

jioquei 发表于 2014-2-20 08:47

                                
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請教HCL和Si反應為TCS和H2這兩個產物,第三種為何產物?

产物主要是三氯氢硅和四氯化硅,在温度最佳时,三氯氢硅含量能有85%到95%,如果反应温度在280度左右的话,会产生不高于10%的二氯二氢硅,同时三氯氢硅产率也比较低。不凝气体主要是HCL合成中过量的H2,输送硅粉带来的氮气反而在正常的生产过程中不多。
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发表于 2014-2-19 11:47:00 | 显示全部楼层
不会导致反应无法进行!相反,我认为增大H2与HCL的比例,反而会增大TCS的产率!
我们生产上也做过实验,H2:HCL比从1:3提高到1:1,TCS的选择率增大!当然前提是流化床温度、压力都控制不变的前提!
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发表于 2014-2-20 09:28:12 | 显示全部楼层
路过学习下~~~
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