还原炉雾化

发表于 2012-7-3 15:30:13

降tcs.電流..一般來說是配方比問體..待霧化情況消失..可調整配方比..

发表于 2012-7-4 09:55:45

关于雾化的解释 6楼的观点我同意。处理方面，如果硅棒比较小，直接断掉tcs，如果比较大tcs缓慢减小，直到炉内清晰，同时加大一点视镜的H量，如必要电流也可以减一点。思路就这样，但得具体到实际情况，那些经验丰富的员工会轻松搞定的。如果短路接地了，那直接断掉tcs，H也同时减小点，炉壁水也可以减小流量，保证炉内温度下降缓慢点，不然倒棒的可能性很大。

发表于 2014-5-30 11:16:47

可能是还原炉运行到后期，随着硅棒的长大，硅棒电阻减小，还原炉的输入功率会减小（虽然电流增大），导致硅棒表面温度降低（虽然此时硅棒间的相互热辐射增强），同时反应空间减少，进入还原炉混合物料和出还原炉的尾气停留时间减少，导致炉内此时的气相间多晶硅不能及时沉积到硅棒上，这些硅粉阻碍了钟罩内正产的热传递（余热传递到钟罩通道受阻），导致TCS发生热分解反应，出现雾化，彻底扰乱还原炉内的反应。假若TCS量突然增大或者氢气量突然减少，肯定出现雾化情况。雾化出现时还原炉内温度突然升高，硅棒电阻变小，电压降低。

发表于 2014-7-7 15:59:42

都是追求沉积速率高、单耗小惹的祸

发表于 2014-7-8 21:29:52

在我们这里，当还原炉运行到中后期，雾化严重就是降低氯硅烷拉大配比的方法吧

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