还原炉雾化

发表于 2012-6-7 13:12:13

还原炉雾化为什么电压会异常下降？请说说雾化还有哪些征兆？以及如何处理？

发表于 2012-6-7 20:08:27

何谓还原炉雾化？有没有详细解释？真正变成雾状的是氯硅烷还是什么？

发表于 2012-6-7 22:05:30

没理解你说的‘雾化’是什么样的情况、能具体点么。

发表于 2012-6-8 14:08:30

雾化就是要长硅粉的前兆啊。控制很简单，只要加大配比就好了

发表于 2012-6-10 11:11:44

还原炉内三氯氢硅是应该要雾化才行啊，楼主想表达个什么意思？

发表于 2012-6-20 16:48:03

看来好些坛友们的控制比较好啊，没有发生过雾化，是个好事啊。雾化就是tcs的量大于配比中氢气的量，导致炉内析出黑色硅粉，黑色的硅粉严重时炉内弥漫黑尘，看不到炉内状况，同时视孔玻璃被黑色硅粉污染，无法起到观看炉内，在严重的黑色硅粉附着在石墨底座上，影响接地，导致炉子接地停炉。

发表于 2012-6-24 17:46:44

雾化前可以通过一些数据看出来的，比如你说的电压异常下降，炉温是先上升后有点降低，尾温升高等。其雾化的原理就是：料量比较多大于氢气对其还原的程度，副反应比较厉害导致一些硅粉之类的。此时可以降TCS提氢气拉大它们的摩尔配比。电流方案视情况改变。

发表于 2012-6-25 21:23:24

请问7楼，有没有具体在什么温度时，配比多大容易出现雾化现象？？

发表于 2012-7-2 19:43:09

我们雾化也是比较严重的！就是炉温高，配比小，气场分配不均匀造成的特别是中期，要是不及时调整，会严重影响工艺指标

发表于 2012-7-3 10:34:04

我们也有类似情况出现，倒没那么厉害，一般是视孔玻璃发黑。怎么处理能避免此事发生？

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