多晶硅生长初期硅芯表面容易长不定型硅，各位坛友谈谈所见所闻？

yf_515 发表于 2012-6-15 08:48
  
是所有炉子都这样还是只有一台炉子，是每次都是同一组硅芯还是不确定的随机哪一组硅芯出问题？

非常随机的，炉子不一定，生长位置也比较随机，底部，中部，上部以及横梁都出现过，那几组也不确定，正是由于这种情况所以原因一直没有找到，你们出现过这种情况嘛？

硅儿子 发表于 2012-6-14 21:59
  
那能描述下现象么？比如长的位置是全部还是下端？上端？炉内看的见类似膜状么？黑的?红黄的？白的？还是小 ...

在硅芯的任意位置都出现过，颜色都是黄褐色，黑色也出现过，形状就是一大片一大片，发现迟的话整根棒子都长成那种情况，而且每次沉积速度都比多晶硅要快，不只你们出现过嘛？谈谈你的看法？

jl_1016 发表于 2012-6-16 11:04

                                
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在硅芯的任意位置都出现过，颜色都是黄褐色，黑色也出现过，形状就是一大片一大片，发现迟的话整根棒子都 ...
是不是很轻，有点像蜂巢哦？你们是刚开车的吗？

1.楼主此类问题是在生长过程中发现的还是停炉后拆炉时发现的；
2.若是生长过程中估计应该是进料温度偏低形成无定形硅；
3.若是拆炉后发现的出现黄色、黑色及其他，较大可能是尾气阀门内漏。

硅儿子 发表于 2012-6-18 05:01
  
是不是很轻，有点像蜂巢哦？你们是刚开车的吗？

对，有时候想蜂窝状，很轻的，我们运行将近4年了，这个问题始终没有解决哦

skymirror 发表于 2012-6-18 14:41
  
1.楼主此类问题是在生长过程中发现的还是停炉后拆炉时发现的；  2.若是生长过程中估计应该是进料温度偏低形 ...

谢谢坛友解释，
1，我们发现这种情况是在生长过程中，主要是进料后0－18h内；
2，我们的进料温度tcs至少110度，氢气至少60度；
3，至于尾气阀门内漏出现那种情况，没理解坛友的意思。
坛友继续解释啊

jl_1016 发表于 2012-6-18 19:57

                                
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对，有时候想蜂窝状，很轻的，我们运行将近4年了，这个问题始终没有解决哦
4年都没解决有点不可思议额，这个需要研究下你们的生产流程和一些参数指标，有点敏感。
我有时候都不知道国内多晶硅在现在这个状况下还有什么好保密的，应该大家一起技术交流取长补短抱团取暖才对。

硅儿子 发表于 2012-6-19 13:59
  
4年都没解决有点不可思议额，这个需要研究下你们的生产流程和一些参数指标，有点敏感。  我有时候都不知道 ...

的确啊，四年没解决，的确有些不可思议，我们只是当炉内长不定型硅时，停炉，将长不定型硅的那几组都给换掉，然后重新启炉，这样基本上不影响产量，也不影响质量，所以，到现在还没有解决。不知坛友你们具体是怎样控制的，为何你们不出现这种情况？

把出现这种情况的那一两对的电极更换为新的。

这个问题我在以前说过，不定型硅主要是DCS造成的，这个就与问得和压力有关，要掌握好温度控制。