多晶硅生长初期硅芯表面容易长不定型硅，各位坛友谈谈所见所闻？

本帖最后由 千寻卫子 于 2012-6-9 17:27 编辑
在西门子法生长多晶硅过程中，进料不久容易在硅芯表面生长絮状，灰色轻质体，经质检得出的结果仍然是高纯硅，各位坛友谈谈你们是如何解决这种问题的。

看检测结果应该是温度低了，把温度升高点进料试试、

这个里头包含几个问题，第一：你进炉的物料温度有多高，如果太低了，会导致有液体直接进炉子，影响沉积；
第二：你进料时棒子温度是多少？进料电流电流多少？温度太低会导致不定型硅产生。。。
第三：配比多少？三氯氢硅比例过大也会造成炉内产生絮状物。。。

dajiahigh 发表于 2012-6-11 10:12
  
这个里头包含几个问题，第一：你进炉的物料温度有多高，如果太低了，会导致有液体直接进炉子，影响沉积；  ...

评点的深入浅出啊，只是这种长不定型是偶然的，比如：同一炉，就长一两对；同样的配比，有些炉子不会出现问题；同样的进料温度（料与硅芯），有些炉子也是没问题的。不知坛友了解硅芯的导电特性方面的问题嘛？例如：p型，n型，pn型，我们在往这方面考虑了

硅儿子 发表于 2012-6-10 00:19
  
看检测结果应该是温度低了，把温度升高点进料试试、

坛友，偶们已经试过了，但是该长时，还是出现了

jl_1016 发表于 2012-6-13 08:02

                                
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评点的深入浅出啊，只是这种长不定型是偶然的，比如：同一炉，就长一两对；同样的配比，有些炉子不会出现 ...
你说的同一炉只有1-2对长，其他都蛮好，这种情况我确实没遇见过，不过在论坛其他帖子上见过类似的照片，具体情况我也不好说。但是我想最起码应该不是温度造成的，因为在同一炉子里面，硅棒之间即使电阻值有差异导致温度有差异，但是温度不会差异到其他都能正常反应，就1-2组温度过低产生不定型硅吧！
如果只有1-2组有问题，是不是要考虑下产生的东西究竟是什么？会不会是脏东西进去吸附在少量的硅棒上造成的？----纯属猜测！！！
至于他的导电特性我不精通这个，但是我们同一炉的硅芯N，P型都是混装的，没有讲究这些。

其实n，p型，我们也是猜想，我考虑会不会在pn结处的磁场紊乱，致使长不定型硅的。（呵呵，纯属猜想啊，抛个砖，引块玉呗）

dajiahigh 发表于 2012-6-13 10:55
  
你说的同一炉只有1-2对长，其他都蛮好，这种情况我确实没遇见过，不过在论坛其他帖子上见过类似的照片，具 ...

脏东西附着在硅芯表面这块我们也是考虑到了，但是还是在探究中啊

jl_1016 发表于 2012-6-13 08:03

                                
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坛友，偶们已经试过了，但是该长时，还是出现了
那能描述下现象么？比如长的位置是全部还是下端？上端？炉内看的见类似膜状么？黑的?红黄的？白的？还是小黑点？或是絮状？毛刺？最好来个图。还有检测的结果可靠么，有代表性么？

是所有炉子都这样还是只有一台炉子，是每次都是同一组硅芯还是不确定的随机哪一组硅芯出问题？