多晶硅还原炉

发表于 2008-11-3 12:13:22

炉内进气出气如何呢？
上进下出？
进气的分布是何种呢？

发表于 2008-11-18 17:33:44

感觉应该是下进下出

发表于 2009-2-2 15:52:12

硅芯被通电后，达到反应的温度，物料随之喷入就会逐渐沉积，下部比较光滑，沉积的较好，越是像上部，疙里疙瘩的，沉积的不好

发表于 2009-2-23 23:01:33

可能是温度控制不好，在高温下各部分硅乘积速度不一样造成的

发表于 2009-2-24 09:59:56

九对棒还原炉，进出气应该都是在中间，做套管形式可以有一个初步的热交换。地盘低温硅沉积的很多，硅芯倒是挺长的，上部可以控制长得更好些

发表于 2009-2-24 10:03:15

开炉的时候炉桶是放在旁边了吗？好像也没有看见导向杆，再装炉的时候需要对准螺栓

发表于 2009-3-2 23:38:10

哪个部位是陶瓷的，什么材质，希望高手能解答，谢谢

发表于 2009-5-14 13:49:09

工艺控制问题。看看我的长的很光滑。

发表于 2009-5-14 22:02:58

了不起，硅芯多长啊？请教 18# wuchenke

发表于 2009-5-16 09:32:01

应该是从下面吹进去的吧

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