回收氢中甲烷的形成

大家都知道回收氢中，甲烷的带入与硅反应，生成碳化硅，直接导致硅棒的碳含量超标
但是这个甲烷形成，一般都归结于氢气与石墨反应所致，
就针对甲烷形成的条件，坛友们可否给出一个回答？

氢气与石墨反应所致

在还原系统中，没有其他地方有碳进入，因此一般认为是石墨参加反应带入所致。

本帖最后由 yizhuxuan 于 2011-11-21 10:56 编辑
大家都知道回收氢中，甲烷的带入与硅反应，生成碳化硅，直接导致硅棒的碳含量超标
但是这个甲烷形成，一般 ...
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 09:53

                                
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    LZ可知道有种氢化工艺叫做“热氢化”...热氢化中氢化炉内为碳棒、石墨件，这里是多晶硅碳含量超标的罪魁。

应该是C-C发热体所致

版主，我们现行工艺就是热氢化，还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么？

版主，我们现行工艺就是热氢化，还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么？
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 16:52

                                
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    1000℃隔绝空气，炭黑与氢气可以反应生成甲烷，这是一个可逆反应。这里你更应该考虑的是炭黑与四氯化硅反应生成碳化硅的反应。

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-22 08:32 编辑
这个甲烷在TCS合成中也可能产生的，同时还产生一种叫一氯甲烷，在系统的C含量高在氢化和还原时也产生甲烷，同时石墨煅烧不好也会产生的。

8楼的坛友解释我觉得更入情理，石墨煅烧的质量，是直接影响产品C含量的主要因素。
同时对谪仙版主的解释说声感谢，接下来主要分析下碳化硅的影响！

我们也遇到了C超标的问题
除了石墨底座 是否要考虑碳钢管造成的C污染