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多晶硅长成泡沫状原因

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发表于 2009-4-13 11:28:51 | 显示全部楼层
颜色发黑  是温度低了
泡沫状   结晶速度太快
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发表于 2009-4-13 21:40:52 | 显示全部楼层
1。跟生长速度有关,生长太快
2。与原料有关,可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅
3。与硅芯有关,可能出现了PN结
4。与电流有关,可能电流过大
请自查
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发表于 2009-4-21 00:20:40 | 显示全部楼层
菜花见过,没见过须须状的
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发表于 2009-4-24 17:33:53 | 显示全部楼层
1。跟生长速度有关,生长太快
2。与原料有关,可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅
3。与硅芯有关,可能出现了PN结
4。与电流有关,可能电流过大
5.进气不均匀
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发表于 2009-5-15 11:14:01 | 显示全部楼层
晶体生长如果有杂质的情况下,会给晶体提供晶核,晶体就生长很快。
晶体生长很快,就会导致晶体有空隙,继续导致后面的晶体生长很快。
生长过快的晶体,往往会夹杂这杂质。
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发表于 2009-5-15 13:56:00 | 显示全部楼层
可能生长太快;可能三氯氢硅中含有二氯二氢硅;可能出现了PN结;可能电流过大
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发表于 2009-5-15 17:35:15 | 显示全部楼层
可能是进气不均匀
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发表于 2009-5-19 15:07:13 | 显示全部楼层
1进气量不均匀
2生长过快(温度设定点过高、电流增长过快per hour)
如果只是朝外方向有的话,那是冷却介质温度过低了,外圈应该很厉害
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发表于 2009-5-20 16:34:12 | 显示全部楼层
感觉是进料速度大,且量控制不均匀,变化过大。造成温度也无法控制好。
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发表于 2009-5-25 20:31:59 | 显示全部楼层
关键是没有控制好温度,特别是横梁的温度。温度高,产生的多晶硅晶粒就比较大,沉积于硅棒上后形成的晶核就比较大,也就是我们说的“菜花状”。
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