zp19861023 发表于 2009-9-7 09:43:00

进入合成炉氯化氢量的控制方式？

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-7 11:31 编辑
进入三氯氢硅合成炉的氯化氢，是使用压力控制好呢,还是流量控制好？

xpxue123 发表于 2009-9-7 10:29:08

1# zp19861023 压力控制好

zp19861023 发表于 2009-9-7 10:35:31

2# xpxue123
流化床的流化状态主要是跟氯化氢的流速有关，有就是氯化氢的流量，而三氯氢硅合成炉的压力是通过后续湿法除尘的调节阀来控制的，我们公司用的是流量控制

liums001 发表于 2009-9-7 14:43:34

如果是流量控制，一般流量控制到多少？压力是多少？

zp19861023 发表于 2009-9-7 16:19:17

4# liums001 具体控制在多少，直接按相应的操作规程。参数也并不是恒定的，有时候提量或者降量后就变了。

010211 发表于 2009-9-7 20:47:09

楼主这个问题不是很清楚，
要我回答就是，在一定压力下控制流量来操作．ＨＣl一般以质量流量控制较好。

zw1902 发表于 2009-9-7 22:48:28

呵呵！当合成炉出口压力高了，HCL是不是还能通得进去呢？当然，在合成炉出口压力正常时，HCL都是流量控制！

zp19861023 发表于 2009-9-8 09:51:24

7# zw1902
氯化氢是肯定通得进去的，因为氯化氢在进合成炉之前有个缓冲罐，这个缓冲罐的压力相对而言还是比较高的。如果使用流量控制，气体的流量好像不是那么容易测得准确吧（气体测压力是比较准确的），那样的话控制的波动性岂不是很大。个人仔细琢磨了一下，这个地方氯化氢的量，不管是采用流量控制，还是压力控制，都不能打自动，只有手动控制开度。

wangfei2006 发表于 2009-9-8 09:54:18

由于合成炉的内发生这合成三氯氢硅沸腾的反应    炉子的压力很高，HCL的压力应该大于合成炉的压力，否则会出现负压，气体出现回流的危险，一般应控制在7bar以上。

tcs1789@163.com 发表于 2009-9-8 12:00:12

压力，流量，温度都很重要，不可能只调一个参数不管另外二个参数，在正常生产时，大多控制流量，但同时观察另二个参数的变化大与小，发大了就要调整，
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