只要氯化氢缓冲罐与三氯氢硅合成炉之间有足够的压差,就有足够的动力,不存在合成炉压力高了,通入的氯化氢流量就小。三氯氢硅合成炉的温度是通过合成炉的夹套或者其他换热方式来控制的,合成炉的压力可以通过到CDI的有个调节阀来控制整个系统的压力。在三氯氢硅合成里,最重要的一个参数就是合成炉的压差,据我所知,很多调节阀都是手动的。 楼主这个问题不是很清楚,
要我回答就是,在一定压力下控制流量来操作.HCl一般以质量流量控制较好。
010211 发表于 2009-9-7 20:47
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我不是搞仪表的,对于气体的体积流量和质量流量,到底这个仪表测得的准确度有多高,这一点很值得怀疑 怎么点火呀,谁能告诉我
qiaoshuang888 发表于 2009-9-8 14:38
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点什么火哟?你是说氯化氢合成炉的点火吗!估计技术含量很高吧,每次点火都是工段长亲自出马! 楼上点火是手动还是自动的
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