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进入合成炉氯化氢量的控制方式?

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发表于 2009-9-7 09:43:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 zjiris 于 2009-9-7 11:31 编辑
进入三氯氢硅合成炉的氯化氢,是使用压力控制好呢,还是流量控制好?
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发表于 2009-9-7 10:29:08 | 显示全部楼层
1# zp19861023 压力控制好
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 楼主| 发表于 2009-9-7 10:35:31 | 显示全部楼层
2# xpxue123
流化床的流化状态主要是跟氯化氢的流速有关,有就是氯化氢的流量,而三氯氢硅合成炉的压力是通过后续湿法除尘的调节阀来控制的,我们公司用的是流量控制
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发表于 2009-9-7 14:43:34 | 显示全部楼层
如果是流量控制,一般流量控制到多少?压力是多少?
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 楼主| 发表于 2009-9-7 16:19:17 | 显示全部楼层
4# liums001 具体控制在多少,直接按相应的操作规程。参数也并不是恒定的,有时候提量或者降量后就变了。
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发表于 2009-9-7 20:47:09 | 显示全部楼层
楼主这个问题不是很清楚,
要我回答就是,在一定压力下控制流量来操作.HCl一般以质量流量控制较好。
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发表于 2009-9-7 22:48:28 | 显示全部楼层
呵呵!当合成炉出口压力高了,HCL是不是还能通得进去呢?当然,在合成炉出口压力正常时,HCL都是流量控制!
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 楼主| 发表于 2009-9-8 09:51:24 | 显示全部楼层
7# zw1902
氯化氢是肯定通得进去的,因为氯化氢在进合成炉之前有个缓冲罐,这个缓冲罐的压力相对而言还是比较高的。如果使用流量控制,气体的流量好像不是那么容易测得准确吧(气体测压力是比较准确的),那样的话控制的波动性岂不是很大。个人仔细琢磨了一下,这个地方氯化氢的量,不管是采用流量控制,还是压力控制,都不能打自动,只有手动控制开度。
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发表于 2009-9-8 09:54:18 | 显示全部楼层
由于合成炉的内发生这合成三氯氢硅沸腾的反应    炉子的压力很高,HCL的压力应该大于合成炉的压力,否则会出现负压,气体出现回流的危险,一般应控制在7bar以上。
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发表于 2009-9-8 12:00:12 | 显示全部楼层
压力,流量,温度都很重要,不可能只调一个参数不管另外二个参数,在正常生产时,大多控制流量,但同时观察另二个参数的变化大与小,发大了就要调整,
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