fengjunqiang 发表于 2009-8-25 12:51:00

谢谢了！这些低温硅会造成尾气系统污染和堵塞吗？提高温度就一定可以解决低温硅问题吗？
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cxh25 发表于 2009-8-25 12:56:40

应该是不定型硅 可以试着提高氢气与三氯氢硅的进料比例 有利于改善这种物质的生成 这种物质对多晶硅的质量影响应该不是很大

ranrui 发表于 2009-8-26 10:33:20

控制好温度，进料比和物质纯度，应该可以避免

yuan880890 发表于 2009-8-26 10:47:44


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具我了解，应该是还原炉温度低与正常沉积的温度。具体解决措施我得去查询下。呵呵，不好意思不能给你一点点帮助！

mountain988 发表于 2009-8-26 11:20:47

还是全面检查的比较好，很多种原因都有可能。
最好分析一下漏的物质再下定论。

poqwie007 发表于 2009-8-26 14:10:18

炉筒壁面也有很多 9# Minos 对的

wangfei2006 发表于 2009-8-27 21:02:35

应该主要是硅粉，另外还有硅酸等等。这些物质粘合在一起形成的。看看你们的炉子是否清洗干净了，如果没有清洗干净，残留的洗涤液和杂质很有可能形成这个。

duojingsi 发表于 2009-8-28 10:48:16

3# 冲刺2009 可以具体介绍为什么物料没控制好和有液体进入就会形成这种物质吗？

chenchenlijuan 发表于 2009-8-29 15:32:30

顶，提高配比，尤其后期防止雾化，产生硅粉。

poqwie007 发表于 2009-9-23 17:45:26

11# fengjunqiang
温度可不是那么好控制的
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