fengjunqiang 发表于 2009-8-16 00:46:27

多晶硅出炉底盘沉淀物


static/image/smiley/default/biggrin.gif
各位美女靓哥，我公司最近产的多晶硅出炉时发现炉底盘有一层颗粒状的黄褐色的沉淀物，不知为何物？是否与混合气的质量有关？
static/image/smiley/default/smile.gif

冲刺2009 发表于 2009-8-16 16:28:47

炉内可能进液体了

冲刺2009 发表于 2009-8-16 16:31:01

气化的不成功。或物料量没控制好，液体进入炉内

冲刺2009 发表于 2009-8-16 16:34:23

可以试着提高一下汽化器蒸汽量，能够保证三氯氢硅完全气化，气流量也要稳定，

受气包 发表于 2009-8-16 16:39:57


static/image/smiley/default/sad.gif
，看来你们炉子要检修了：漏。

南希 发表于 2009-8-17 09:13:17

炉子确实该检修啦，是否还伴有白色的二氧化硅？

fengjunqiang 发表于 2009-8-22 18:15:39

改变汽化温度后，可以改变进料比例，能改变还原炉底盘沉积物的生成吗？

poqwie007 发表于 2009-8-24 22:43:47

1# fengjunqiang
不是炉子漏的问题啊
炉子漏还搞什么生产
我觉得应该是炉壁温度低，生成的不定型硅。。
检测分析过，成分都是硅
所以楼主不必担心，影响不是很大；

Minos 发表于 2009-8-24 23:39:30

1# fengjunqiang
不是炉子漏的问题啊
炉子漏还搞什么生产
我觉得应该是炉壁温度低，生成的不定型硅。。
检测分析过，成分都是硅
所以楼主不必担心，影响不是很大；
poqwie007 发表于 2009-8-24 22:43

                              
登录/注册后可看大图
如果楼主对颜色的描述没有错误的话，我好像没见过有用“黄褐色”描述非晶硅颜色的..............
另外，如果确实是非晶硅，那炉筒内壁上肯定也会附着很多，不知道是否是这样的....

miaofeng120 发表于 2009-8-24 22:43:00

恩，应该是底盘温度低造成的不定型硅
页: [1] 2
查看完整版本: 多晶硅出炉底盘沉淀物