多晶硅出炉底盘沉淀物

发表于 2009-8-25 12:51:00

谢谢了！这些低温硅会造成尾气系统污染和堵塞吗？提高温度就一定可以解决低温硅问题吗？

发表于 2009-8-25 12:56:40

应该是不定型硅可以试着提高氢气与三氯氢硅的进料比例有利于改善这种物质的生成这种物质对多晶硅的质量影响应该不是很大

发表于 2009-8-26 10:33:20

控制好温度，进料比和物质纯度，应该可以避免

发表于 2009-8-26 10:47:44

具我了解，应该是还原炉温度低与正常沉积的温度。具体解决措施我得去查询下。呵呵，不好意思不能给你一点点帮助！

发表于 2009-8-26 11:20:47

还是全面检查的比较好，很多种原因都有可能。
最好分析一下漏的物质再下定论。

发表于 2009-8-26 14:10:18

炉筒壁面也有很多 9# Minos 对的

发表于 2009-8-27 21:02:35

应该主要是硅粉，另外还有硅酸等等。这些物质粘合在一起形成的。看看你们的炉子是否清洗干净了，如果没有清洗干净，残留的洗涤液和杂质很有可能形成这个。

发表于 2009-8-28 10:48:16

3# 冲刺2009 可以具体介绍为什么物料没控制好和有液体进入就会形成这种物质吗？

发表于 2009-8-29 15:32:30

顶，提高配比，尤其后期防止雾化，产生硅粉。

发表于 2009-9-23 17:45:26

11# fengjunqiang
温度可不是那么好控制的

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